Z元件又名Z效應半導體敏感元件，簡稱Z元件。新型力敏Z元件是由俄羅斯傳感器專家ZOTOV教授發明的，它具有體積小、功耗低、抗噪聲能力強等優點，接近開關傳感器與觸覺傳感器不同，觸覺傳感器是一種高品質傳感器元件。
力敏Z元件是用厚度為500UM的N型硅單晶，采用特殊工藝，經過高溫處理、單面打磨等過程，最后進和切割、焊接引線和封閉而成。Z元件可以簡化為一個PN結和N型側敏感層的復合結構。其測量電路是其電流一電壓特性曲線。由于Z元件對溫度敏感，如要獲得對其他參數敏感的元件，可通過選取工作點使其對溫度的敏感度下降，達到可以被忽略或可進行溫度補償的區域。當外力作用在Z元件的P端時，敏感層的電阻率變小，I-V特性曲線線性區斜率增大，達到電流IM值時，其電壓值小于靜態下曲線發生跳變時的電壓，從而使特性曲線向左移動，施加力越大左移越大。反之，當外力作用在Z元件的N端時，敏感層的電阻率變大，I-V特性曲線性區斜率變小，達到電IM值時，壓值大于靜態下曲線發生跳變時的電壓VM，從而使特性曲線向右移動，施加力越大右移越大。工程應用就是利用Z元件的這一特性工作的。
由于Z元件很薄、很脆，導致其能隨的力有限，所以工程上其傳力的機構都是在必須保證其安全的前提下設計的。觸覺傳感器的結構是其基本原理是通過平板結構的變形把力傳遞給Z力敏元件，這樣，很大的力通過角電就轉化成施加到Z力敏元件上很小的力，從而達到受力要求和測理要求。
Z元件的角覺傳感器具有體積小、分辨力高、線性好、抗干擾能力強，而且轉換電路非常簡單等優點，從而使其小型化，易于安裝在機器人手抓上。 |
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